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真空機(jī)組如何配置

點擊次數(shù):   更新時間:23/03/06 10:13:03   【關(guān)閉分    享:
  不同的真空系統(tǒng)要求的真空度不同。因此往往須由一套真空機(jī)組來完成,即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來。
  高真空一側(cè)的真空泵能達(dá)到系統(tǒng)要求的真空度,而低真空一側(cè)的真空泵是直排大氣的。顯然簡單的真空機(jī)組就是一臺直排大氣的真空泵。但高真空系統(tǒng)一般需要三級機(jī)組,中真空一般需要二級機(jī)組。
  一臺高真空泵和一臺低真空泵難于組成有效的高真空機(jī)組。這有幾方面的原因。流量的連續(xù)性就是其中之一。高真空泵都有前級耐壓的限制,即前級高于某一壓力,泵就不能正常工作。而當(dāng)前級泵達(dá)到這一臨界壓力時,往往抽速會減小,這樣前級泵的排氣流量可能會小于主泵的排氣流量,這種流量的不一致破壞了流量連續(xù)性的要求,必然會引起真空機(jī)組不能正常工作。但如在高低真空泵之間再連接一臺中真空泵,便可起到承上啟下的作用,流量連續(xù),而且各泵皆可工作在比較好的狀態(tài)。

  羅茨泵能工作在中真空范圍是最適合的,故又稱羅茨增壓泵,由于其壓縮比不高,正好可連接幾Pa至幾百Pa的范圍。當(dāng)三級高真空機(jī)組進(jìn)入較高的真空度時,由于主泵的排氣流量明顯減少,此時僅靠一臺較小的前級泵便可維持抽氣的連續(xù)性,在實際運(yùn)用中這是經(jīng)常采用的方法,這樣可減少機(jī)組的能耗。

真空機(jī)組

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